高真空磁控离子溅射仪采购项目成交公告

是否接受进口

拒绝进口

品牌

格微

型号

***-******

生产厂商

**********

产地信息

北京

技术规格及参数

1.7英寸触摸式液晶显示屏，分辨率为***×***，全中文操作界面，全数字显示。
可设定：（1）溅射电流/溅射功率；（2）溅射时间；（3）靶材种类等；
可显示：（1）溅射电流/溅射功率；（2）溅射剩余时间；（3）工作真空度；（4）靶材累计使用时间；（5）设备累计使用时间；（6）分子泵转速、轴承温度、工作电流、电压；（7）当前使用靶材种类；
2.溅射电流：5-*****连续可调，最小步长为***；
3.溅射功率：0-****连续可调，最小步长**；
4.溅射时长：1-****连续可调，最小步长**;
5.溅射靶材：Φ****；
6.可用溅射靶材：系统内置**常用金属靶材的溅射参数和部分无机非金属溅射参数，可以*键调用，包括扫描电镜常用的金、铂、钨、铬等靶材和硅、碲等非金属靶材以及***、***、****等靶材；
7.真空室采用高透光性的高硅硼玻璃，尺寸约为φ***×*****；
8.可容纳最大样品杯直径为φ*****；
9.高真空泵：涡轮分子泵，抽速为***/s；
**.低真空泵：旋片式真空泵，抽速为**/s;
**.真空规管：进口复合规，量程为**-***到*****；
**.系统工作真空：0.1-***（根据靶材不同，工作真空不同）；
**.样品台旋转：4-*****可调；
**.配备冷水机，功率****；
**.选配1：膜厚监控组件，可以实时显示当前镀膜厚度，并在到达设定值时自动停止溅射过程，膜厚设定范围1-*****连续可调，显示精度0.****；
**.选配2：样品台加热组件，可以对样品进行加热，提高膜层附着力，加热温度室温～***℃连续可调。
**.报价包含铟，金，银，铜，铝，***，铂靶，氧化锌、***、*氧化钨、氧化钴等靶材，工具辅材过渡接头等全配齐，用户实验室在具备高纯氩气（纯度 ** 及以上、含减压阀）时即可直接使用；

质保期

**个月

售后要求

货物及其随机配件提供**个月免费保修，货物安装调试完毕并经**个工作日试运行完成后方可签署无保留意见的验收报告，保修期自货物验收合格之日起计算。保修期内，货物出现损坏或故障，应在接到维修通知后**小时内派员上门现场维护，并在**小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。若中标人不能按照上述要求进行维修，导致设备故障维修不及时，且无法提供代用设备的，按维修时间每超过*天赔偿合同总金额*分之*计算或按实际损失赔偿